該儀器針對(duì)藍(lán)寶石晶錠需對(duì)A、C、R、M向等多角度進(jìn)行測(cè)量定向粘結(jié)而研發(fā)設(shè)計(jì)的,而且對(duì)硅單晶,砷化鎵等晶體角度均可測(cè)量定向粘結(jié),不但解決了大尺寸晶體不能一機(jī)測(cè)量定向多角度的難題,而且綜合精度為±30″,確保晶體測(cè)量,定向粘結(jié)的準(zhǔn)確性。是國(guó)內(nèi)目前先進(jìn)的機(jī)電光一體化的新產(chǎn)品。
該儀器上下升降系統(tǒng),前后上料系統(tǒng)及衍射測(cè)量系統(tǒng)均由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),操作簡(jiǎn)單,先進(jìn)的PLC程序穩(wěn)定可靠,故障率低可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)無(wú)故障運(yùn)行,多點(diǎn)傳感器限位裝置增加了穩(wěn)定性。設(shè)備的專用二維夾具調(diào)整范圍為±4度,可有效滿足300kg以內(nèi)晶錠的粘接定向,操作者可以很容易調(diào)整出所測(cè)量定向的角度,特制對(duì)稱鎖緊裝置可避免切割或掏棒引起的夾具松動(dòng)。360度旋轉(zhuǎn)復(fù)檢一鍵完成方便準(zhǔn)確,有效的減輕了操作者的工作強(qiáng)度,從而減少了單件晶錠定向的時(shí)間,提高了生產(chǎn)率。
采用高精度歐姆龍編碼器記錄衍射角度,并通過(guò)觸摸屏顯示,同時(shí)也實(shí)時(shí)顯示回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)角度。對(duì)多個(gè)角度可自動(dòng)定向,減少人為誤差,提高檢測(cè)效率。